半導(dǎo)體行業(yè),是當(dāng)下人類文明的支柱,也是中國國民經(jīng)濟支柱性產(chǎn)業(yè)之一,其發(fā)展程度是衡量一個國家科技發(fā)展水平的核心指標。近年來,中國出臺了一系列政策,鼓勵國內(nèi)半導(dǎo)體的整體發(fā)展,打破國外壟斷,增強科技競爭力。深圳因勢利導(dǎo),參與全國競合,打造中國硅谷,參與國際競爭,實現(xiàn)彎道超車,既有利于地區(qū)發(fā)展,也是國家發(fā)展之必須。
2023年6月,深圳市發(fā)布《關(guān)于發(fā)展壯大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群和培育發(fā)展未來產(chǎn)業(yè)的意見》(簡稱“《意見》”)。在“制造業(yè)立市”的驅(qū)動下,深圳七大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)將進一步拓展。
《意見》提出深圳將發(fā)展半導(dǎo)體與集成電路、網(wǎng)絡(luò)與通信、高清視頻顯示等20個戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群,同時布局合成生物、區(qū)塊鏈、細胞與基因等8大未來產(chǎn)業(yè),到2025年,深圳戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)增加值將超過1.5萬億元,成為推動經(jīng)濟社會高質(zhì)量發(fā)展的主引擎。
發(fā)展半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)業(yè),必然少不了電子芯片的生產(chǎn)制造。提起芯片,相信大家并不陌生,世界已被芯片所包圍:2020年,全世界共生產(chǎn)了超過一萬億芯片,這相當(dāng)于地球上每人擁有并使用130顆芯片。然而即使如此,芯片短缺依然表現(xiàn)出,這個數(shù)字還未達到上限。
盡管芯片已經(jīng)可以被如此大規(guī)模地生產(chǎn)出來,但生產(chǎn)芯片也并非易事。制造芯片的過程十分復(fù)雜,關(guān)鍵的步驟是沉積、光刻膠涂覆、光刻、刻蝕、離子注入和封裝。而這些步驟進行中都離不開超純水,因為芯片生產(chǎn)過程需要超純水進行清洗。
超純水是一種只有氧原子和氫原子的水,在自然界中是不存在的,只有在實驗室才會看到。而且它的電阻率達到18MΩ·cm,是一種良好的絕緣材料,常被用于半導(dǎo)體芯片和集成電路工業(yè)上。
如此重要的超純水,生產(chǎn)過程也是十分嚴格的。超純水設(shè)備內(nèi)部安裝有反滲透預(yù)脫鹽技術(shù),從根本上確保了設(shè)備的出水質(zhì)量。同時,EDI處理裝置廢水產(chǎn)量少,不會污染環(huán)境。超純水設(shè)備系統(tǒng)特點,主要采用了新的EDI技術(shù),減少了污染,符合綠色環(huán)保的工藝生產(chǎn)的特點,生產(chǎn)技術(shù)克服了很多的缺點,已經(jīng)得到了大力地推廣和應(yīng)用。有了超純水設(shè)備為超純水生產(chǎn)助力,自然也保障了芯片的超純水應(yīng)用,有利于芯片生產(chǎn)。
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