韓國環(huán)境部于去年11月在SKSilitron工廠舉辦了超純水示范工廠的奠基儀式。新工廠將驗(yàn)證工業(yè)用超純水制造相關(guān)的各項(xiàng)技術(shù)，其中包含用于有機(jī)物去除的UV氧化系統(tǒng)，用于去除溶解氧的脫氣系統(tǒng)，以及相關(guān)設(shè)備和施工方式。

　　新工廠建在半導(dǎo)體制造商的工廠內(nèi)，在技術(shù)驗(yàn)證期間也能供應(yīng)超純水，韓國計(jì)劃在2025年之前完成技術(shù)驗(yàn)證，目的是減少對于外國技術(shù)的依賴。這家工廠的目標(biāo)是每天生產(chǎn)2400噸超純水，此外遠(yuǎn)期目標(biāo)是將生產(chǎn)和運(yùn)營過程中進(jìn)口設(shè)備的使用率降低至0%，技術(shù)和設(shè)備采購方面的進(jìn)口依賴程度降低到40%。

　　據(jù)了解，超純水是半導(dǎo)體芯片制造過程中必不可少的，臺積電每天需要用到大量的超純水對晶圓表面進(jìn)行清潔。這種水內(nèi)部的有機(jī)物含量需要低于0.01ppm(百萬分之一)。此前，韓國一直依賴從法國和日本進(jìn)口超純水。

　　說到這兒，對于超純水不了解的人一定很想知道什么是超純水?超純水該如何生產(chǎn)及應(yīng)用?它與我們經(jīng)常提到的純水有什么區(qū)別呢?為什么在電子芯片生產(chǎn)中會經(jīng)常提到超純水呢?接下來小編就一一為大家做解答。

　　我們要知道什么是超純水。

　　超純水(Ultrapure water)又稱UP水，是指電阻率達(dá)到18 MΩ*cm(25℃)的水。這種水中除了水分子外，幾乎沒有什么雜質(zhì)，更沒有細(xì)菌、病毒、含氯二噁英等有機(jī)物，當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水?？梢杂糜诔儾牧?半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)的制備過程。

　　那么，它與我們經(jīng)常提到的純水，高純水有什么區(qū)別呢?

　　純水是指水中的強(qiáng)電解質(zhì)和弱電解質(zhì)(如等)去除或降低到一定程序的水。其電導(dǎo)率一般為：1.0-0.1μs/cm,電阻率1.0-10.0×106Ω·cm。含鹽量<1mg/L。在試驗(yàn)中使用較多，又因是以蒸餾等方法制作，故又稱蒸餾水。市場上出售的太空水，蒸餾水均屬純凈水;但純水還是少喝為好，因?yàn)槔锩娌]有太多人體需要的礦物質(zhì)。

　　高純水指化學(xué)純度極高的水，其主要應(yīng)用在生物、化學(xué)化工、冶金、宇航、電力等領(lǐng)域，但其對水質(zhì)純度要求相當(dāng)高，所以一般應(yīng)用普遍的還是電子工業(yè)。例如電力系統(tǒng)所用的純水，要求各雜質(zhì)含量低達(dá)到“微克/升”級。總之，三種“純水”純度不一樣，用法也不同，沒有必要一較高下!

　　超純水該如何生產(chǎn)及應(yīng)用?

　　超純水設(shè)備采用獨(dú)有的靶向離子交換系統(tǒng)針對超純水中難處理的硼及其他離子定向去除同時(shí)還能連續(xù)、穩(wěn)定地生產(chǎn)高純度的超純水。

　　超純水可以在以下領(lǐng)域使用 ：

　　(1)電子、電力、電鍍、照明電器、實(shí)驗(yàn)室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗(yàn)、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領(lǐng)域。

　　(2)化工工藝用水、化學(xué)藥劑、化妝品等。

　　(3)單晶硅、半導(dǎo)體晶片切割制造、半導(dǎo)體芯片、半導(dǎo)體封裝 、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導(dǎo)電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件 、電容器潔凈產(chǎn)品及各種元器件等生產(chǎn)工藝。

　　(4)高壓變電器的清洗等。

　　既然應(yīng)用領(lǐng)域如此廣泛，那么在芯片生產(chǎn)過程中有什么作用呢?

　　芯片相當(dāng)于電子行業(yè)的“大腦”，雖然只有指甲蓋大小，但一個(gè)芯片板上要放上數(shù)十億個(gè)納米級別的晶體管。在芯片生產(chǎn)時(shí)80%以上的工序都需要經(jīng)過化學(xué)處理，而每一道化學(xué)處理都離不開水，因此半導(dǎo)體行業(yè)對于生產(chǎn)用水的水質(zhì)要求也是相當(dāng)嚴(yán)格，因?yàn)橐坏┧|(zhì)不合格，或者是水中含有雜質(zhì)，就會降低器件的性能，降低成品率，因此在生產(chǎn)時(shí)需要用到超純水。芯片行業(yè)用水是否合格，也決定著產(chǎn)品是否能取勝，因此超純水設(shè)備成為了芯片行業(yè)“決勝點(diǎn)”。

　　萊特萊德超純水設(shè)備通常由石英砂過濾器，活性碳過濾器，阻垢劑、精密過濾器等構(gòu)成預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構(gòu)成主要設(shè)備系統(tǒng)。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、高低壓水泵均設(shè)有高低壓壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人值守，使該設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。

　　萊特萊德超純水設(shè)備在設(shè)計(jì)上采用成熟、可靠、自動化程度高的兩級RO+EDI+精混床除鹽水處理工藝，確保處理后出水電阻率達(dá)到18MΩ.CM以上。設(shè)備內(nèi)部還安裝有反滲透預(yù)脫鹽技術(shù)，再次從根本上行保障了設(shè)備的出水水質(zhì)，與此同時(shí)，EDI處理裝置廢水產(chǎn)出量少，不會對環(huán)境造成污染，有非常高的環(huán)境效益、經(jīng)濟(jì)效益，其發(fā)展前景廣闊。

　　綜上所述，這就是為什么生產(chǎn)超純水如此重要，在芯片生產(chǎn)中更需要。萊特萊德可根據(jù)客戶需求量身定制工藝用水、清洗用水、循環(huán)用水等超純水處理解決方案。