隨著我國經(jīng)濟(jì)再次上升,中國人民對(duì)電子技術(shù)和電子產(chǎn)品的需求也在不斷提高。像是芯片等行業(yè)開始了穩(wěn)步向上的發(fā)展。而在與電子行業(yè)相關(guān)的產(chǎn)業(yè)發(fā)展中我們還發(fā)現(xiàn)了超純水市場也在蓬勃發(fā)展。
超純水作為電子行業(yè)中的清洗用水,在芯片、半導(dǎo)體生產(chǎn)中必不可少。目前傳統(tǒng)的超純水制備工藝都需要定期進(jìn)行樹脂再生,既耗費(fèi)物力又浪費(fèi)人工,所以人們開始應(yīng)用一種新型的EDI超純水系統(tǒng)來進(jìn)行制備超純水,效果顯著,出水水質(zhì)也是穩(wěn)定的。而該系統(tǒng)的核心工藝就是應(yīng)用了反滲透膜技術(shù),該膜組件具有高脫鹽率,高抗污染,對(duì)硼、硅、鍺等元素的高去除率,TOC溶出率更低,從而減小后續(xù)系統(tǒng)處理壓力,提高后續(xù)系統(tǒng)的使用周期和使用效果。
反滲透膜在EDI超純水系統(tǒng)中體現(xiàn)的技術(shù)優(yōu)勢(shì):
1、反滲透膜組件的脫鹽率很高,單級(jí)反滲透脫鹽率一般可穩(wěn)定在97%以上,雙級(jí)反滲透脫鹽率一般在99%以上。
2、反滲透膜可以有效去除細(xì)菌等微生物、有機(jī)物,以及金屬元素等無機(jī)物,出水水質(zhì)優(yōu)于其他方法。
3、應(yīng)用反滲透膜組件制備超純水運(yùn)行成本及人工成本低廉,減少環(huán)境污染。
4、減緩了源水水質(zhì)波動(dòng)而造成的產(chǎn)水水質(zhì)變化,從而有利于生產(chǎn)中水質(zhì)的穩(wěn)定,這對(duì)純水產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定有積極的作用。
5、可減少后續(xù)處理設(shè)備的負(fù)擔(dān),從而延長后續(xù)處理設(shè)備的使用壽命。
以上,就是關(guān)于反滲透膜在半導(dǎo)體行業(yè)所需超純水設(shè)備中體現(xiàn)的技術(shù)優(yōu)勢(shì)的介紹。反滲透膜生產(chǎn)超純水的工藝已經(jīng)很成熟,并且該技術(shù)水通量大,化學(xué)清洗周期長,出水水質(zhì)穩(wěn)定,特別適用于電子級(jí)超純水EDI系統(tǒng)前處理,可以有效地控制電子級(jí)超純水系統(tǒng)的TOC含量。
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